PECVD ovnsystem
Dette produkt er et mellemstort, skydeåbent PECVD-system. Dette PECVD-rørovnssystem er udstyret med en plasma RF-strømforsyning, et tre-vejs masseflow-gasblandingssystem (med intervaller på 1-100 SCCM, 1-200 SCCM og 1-200 SCCM), en åben rørovn med en diameter på 60 mm (med vakuumflange og tilslutningsrør) og en mekanisk rørledning.
Produktinformation
| Produkt model | Glidende PECVD rørovnssystem——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Vigtigste produktparametre | Strømforsyning: 220V 50/60Hz; Nominel effekt: 3,1 kW; Maksimal driftstemperatur: 1200°C (<0,5 h); Kontinuerlig driftstemperatur: ≤1100°C; Anbefalet opvarmningshastighed: ≤10°C/min; Varmezonelængde: 440mm; Termoelement: K-type |
| Hovedtræk | RF-strømforsyning kan opnå plasmaforbedring og reducere den eksperimentelle temperatur betydeligt; hurtig temperaturstigning og -fald kan opnås ved at skubbe ovnlegemet; spændingen af filmen kan styres af frekvensen af RF-strømforsyningen; støkiometrien kan styres ved procesjustering; forskellige materialer såsom SiOx, SiNx, SiOxNy og (a-Si:H) kan aflejres |
| Varmeelement | Jern-krom-aluminiumslegeret tråd 0Cr21Al6Nb |
| Størrelse på ovnrør | Kvartsrørsdiameter valgfri: Φ60 |
| Temperaturstyringssystem | Inkluderer en YD858 temperaturregulator; PID-kontrol og selvindstillingsjustering, intelligent 50-segments programmerbar kontrol, med overtemperatur- og udbrændingsalarmfunktioner; temperaturkontrolnøjagtighed: ±1℃ |
| Plasma RF strømforsyning | 300W RF strømforsyning; Udgangseffekt: 0~300W justerbar; RF-frekvens: 13,56MHZ; Automatisk matchning; Støjniveau < 50dB; Kølemetode: Luftkøling; Indgangsspænding: 180~250V |
| Vakuumtætningsflangegrænseflade | Standardkonfiguration: et par vakuumflanger i rustfrit stål og højtemperatur silikone tætningsringe; udløbsflangerne er tre-ports flanger K16, KF25 og Φ8.2; udløbsflangen kan forbindes til KF25-adapteren med en bælg og derefter til vakuumpumpen. |
| vakuumpumpe | Vedtag dobbelt roterende vinge mekanisk vakuumpumpe TRP-12; vakuum grad kan nå 10-2torr; vakuumtilslutningstilbehør er udstyret med KF25-klemmer og rustfri stålbælge til at forbinde rørovnen og vakuumpumpen |
| Gasforsyningssystem | Trevejs massestrømsblandingssystem - GYS-3Z; Strømforsyning: 220V 50/60Hz; Måleområder: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; En mekanisk trykmåler er installeret på frontpanelet og forbundet til blanderøret; Manometerområde: -0,1-0,15 MPa; Blandetankstørrelse: Φ80*120mm; Internt tilslutningsrør er Φ6,35 |
| Ovns struktur | Ovnlegemet kan flyttes til venstre og højre, og RF-strømforsyningen kan flyttes til venstre og højre. Ovnhuset og RF-strømforsyningen er installeret på den samme glideskinne og bruger det samme kvartsrør. |
| Certificeringsstandarder og kernekomponenter | Kernekomponenterne i hele maskinen er i overensstemmelse med CE, UL, MET og andre certificeringsstandarder; kernekomponenterne omfatter ABB elektriske komponenter, UL-certificerede ledninger og kabler, Omega, Yudian, Continental-instrumenter osv. |
Kontakt os
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. blev etableret i 2015. Det er en professionel virksomhed, der udvikler og producerer ultralette, energibesparende materialer til høje temperaturer og sælger eksperimentelle elektriske ovne, industrielle elektriske ovne og ikke-standardiserede, tilpassede elektriske ovne. Professionel PECVD ovnsystem Producenter og PECVD ovnsystem FabrikVirksomheden overholder princippet om "overlevelse gennem kvalitet, udvikling gennem omdømme" og opretholder forretningsfilosofien om "praktisk anvendelighed, integritet og effektivitet". Vi er forpligtet til at levere omfattende og højkvalitets udstyrsløsninger til kunder i brancher som keramik, metallurgi, elektronik, glas og kemiteknik. Vi leverer også tjenester såsom pulverristning, keramisk sintring og højtemperaturforsøg til universiteter, forskningsinstitutter samt industri- og minedriftsvirksomheder. Samtidig stræber vi også efter at fremme den strategiske udvikling af Nengchengs lette, energibesparende og miljøvenlige højtemperatur aluminiumoxidfiber inden for nye ovne og stræber efter at blive en internationalt førende udbyder af avanceret højtemperaturudstyrsindustri. PECVD ovnsystem Kundeservice.
Seneste nyheder
-
Grundlæggende opbygning af en Vakuumovn En vakuumovn er sammensat af flere integrerede systemer designet til at fungere under kontrollerede lavtryksforhold. Kernestrukturen omfatter et vakuumkammer, varmesystem, isoleringsenhed, vakuumpumpeenhed og kontrolsystem. Hver komponent spiller en specifik rolle i at opretholde et stabilt termisk og atmosfærisk miljø under varmebehandling. Vakuumkammeret er typisk fremstillet af rustfrit stål eller kulstofstål og designet til at modstå båd...
